Study on Size Effect of Cluster Ion Beam Irradiation / クラスターイオンビーム照射におけるサイズ効果の研究

Description

Kyoto University (京都大学) / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第16847号 / 工博第3568号 / 新制||工||1539(附属図書館) / 29522 / 京都大学大学院工学研究科原子核工学専攻 / (主査)教授 伊藤 秋男, 准教授 柴田 裕実, 准教授 松尾 二郎 / 学位規則第4条第1項該当

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1. http://hdl.handle.net/2433/157578
2. 10.14989/doctor.k16847

Tags

Gas Cluster Ion Beam

sputtering SIMS

500

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/157578
Date	26 March 2012
Creators	Ichiki, Kazuya
Contributors	伊藤, 秋男, 柴田, 裕実, 松尾, 二郎, 市木, 和弥, イチキ, カズヤ
Publisher	京都大学 (Kyoto University), 京都大学
Source Sets	Kyoto University
Language	English
Detected Language	Japanese
Type	DFAM, Thesis or Dissertation
Format	application/pdf
Rights	許諾条件により要旨・本文は2012-09-01に公開