In der vorliegenden Arbeit wird die Entwicklung eines auf mikromechanischen Sensorstrukturen
basierenden Schwingungsmesssystems dargestellt. Die Besonderheit besteht im frequenzselektiven
Wirkprinzip. Der Sensor siebt an seiner Resonanzstelle aus einem breitbandigen
Anregungssignal ein schmales Band heraus und unterdrückt die anderen Frequenzbereiche.
Auf diese Weise werden ohne Fourier-Transformation direkt spektrale Informationen gewonnen.
Weiterhin sind die Resonanzfrequenz und damit der Messbereich mittels elektrostatischer
Kräfte in einem weiten Bereich abstimmbar.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa.de:swb:ch1-200500197 |
| Date | 10 March 2005 |
| Creators | Scheibner, Dirk |
| Contributors | TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Publisher | Universitätsbibliothek Chemnitz |
| Source Sets | Hochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden |
| Language | deu |
| Detected Language | German |
| Type | doc-type:doctoralThesis |
| Format | application/pdf, text/plain, application/zip |
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