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Morphology and Placement Control of Microdomain Structure in Block Copolymer Thin Film for Fabricating Ultra High Density Pattern / 超高密度パターン形成に向けたブロック共重合体薄膜におけるミクロドメインの構造・配列制御

Kyoto University (京都大学) / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第16883号 / 工博第3604号 / 新制||工||1544(附属図書館) / 29558 / 京都大学大学院工学研究科高分子化学専攻 / (主査)教授 長谷川 博一, 教授 吉﨑 武尚, 教授 金谷 利治 / 学位規則第4条第1項該当

Identiferoai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/157615
Date26 March 2012
CreatorsTada, Yasuhiko
Contributors長谷川, 博一, 吉﨑, 武尚, 金谷, 利治, 多田, 靖彦, タダ, ヤスヒコ
Publisher京都大学 (Kyoto University), 京都大学
Source SetsKyoto University
LanguageEnglish
Detected LanguageEnglish
TypeDFAM, Thesis or Dissertation
Formatapplication/pdf

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