Desenvolvimento de um processo para obtenção de triclorosilano, a partir de silicio metalurgico nacional, destinado a produção de silicio de grau eletronico

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Orientador: Mauricio Prates de Campos Filho / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas / Made available in DSpace on 2018-07-15T10:39:13Z (GMT). No. of bitstreams: 1
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Previous issue date: 1980 / Resumo: Este trabalho apresenta a pesquisa sobre os processos de obtenção e purificação de Triclorosilano (SiHCL3) utilizando-se como matéria prima Silício Metalúrgico nacional. O Triclorosilano se constitui na matéria prima fundamental para a obtenção de Silício de Grau Eletrônico ¿Observação: O resumo, na íntegra poderá ser visualizado no texto completo da tese digital. / Abstract: In the present work a research regarding the processes of preparation and purification of Triclorosilane (SiHCL3) using national metallurgical silicon as raw material is described. The Triclorosilane is the main raw material in the preparation of the Eletronic Grade Silicon ...Note: The complete abstract is available with the full electronic digital thesis or dissertations. / Mestrado / Mestre em Ciências

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1. CARVALHO, José Wilson Camilher. Desenvolvimento de um processo para obtenção de triclorosilano, a partir de silicio metalurgico nacional, destinado a produção de silicio de grau eletronico. 1980. 95 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/265435>. Acesso em: 15 jul. 2018.
2. http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/265435

Tags

Silício

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:IBICT/oai:repositorio.unicamp.br:REPOSIP/265435
Date	15 July 2018
Creators	Carvalho, José Wilson Camilher
Contributors	UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS, Campos Filho, Maurício Prates de, 1938-2014, Filho, Mauricio Prates de Campos
Publisher	[s.n.], Universidade Estadual de Campinas. Faculdade de Engenharia de Campinas, Programa de Pós-Graduação em Ciências
Source Sets	IBICT Brazilian ETDs
Language	Portuguese
Detected Language	Portuguese
Type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion, info:eu-repo/semantics/masterThesis
Format	95 f. : il., application/pdf
Source	reponame:Repositório Institucional da Unicamp, instname:Universidade Estadual de Campinas, instacron:UNICAMP
Rights	info:eu-repo/semantics/openAccess