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Synthèse de couches ultra-minces de siliciures sur silicium cristallin et endommagé étudiée par microscopie et profilométrie en profondeur

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1. http://hdl.handle.net/1866/4346

Identifer	oai:union.ndltd.org:umontreal.ca/oai:papyrus.bib.umontreal.ca:1866/4346
Date	03 1900
Creators	Turcotte-Tremblay, Pierre
Contributors	Schiettekatte, François
Source Sets	Université de Montréal
Detected Language	French
Type	Thèse ou mémoire / Thesis or Dissertation