In der vorliegenden Arbeit wird ein neuer
mikromechanischer Drehratensensor nach
dem Stimmgabelprinzip vorgestellt.
Die mechanische Sensorstruktur wird mit Hilfe der
Bulkmikromechanik hergestellt und arbeitet
nach dem elektrostatischen Wirkprinzip.
Um große Amplituden zu erreichen,
werden mechanische Koppelschwingungen ausgenutzt.
In der Arbeit wird allgemein auf
Entwurfsprozeß, Modellierung und Simulation
mikromechanischer Strukturen eingegangen. Es
wird die gemeinsame Lösung gekoppelter
Felder mit Hilfe der Netzwerkmethode (PSpice)
und die partitionierte Lösung mittels
Online-Simulatorkopplung (ANSYSPSpice)
vorgestellt.
Ein wesentlicher Bestandteil der Arbeit ist die
Untersuchung der viskosen Luftdämpfung
mikromechanischer Elemente mit engen
Bewegungsspalten. Es werden verschiedene
Möglichkeiten der vereinfachten Berechnung
gezeigt.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa:de:qucosa:17667 |
| Date | 01 April 2000 |
| Creators | Billep, Detlef |
| Contributors | Technische Universität Chemnitz |
| Source Sets | Hochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden |
| Language | German |
| Detected Language | German |
| Type | doc-type:doctoralThesis, info:eu-repo/semantics/doctoralThesis, doc-type:Text |
| Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
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