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Modellierung und Simulation eines mikromechanischen Drehratensensors

In der vorliegenden Arbeit wird ein neuer
mikromechanischer Drehratensensor nach
dem Stimmgabelprinzip vorgestellt.
Die mechanische Sensorstruktur wird mit Hilfe der
Bulkmikromechanik hergestellt und arbeitet
nach dem elektrostatischen Wirkprinzip.
Um große Amplituden zu erreichen,
werden mechanische Koppelschwingungen ausgenutzt.

In der Arbeit wird allgemein auf
Entwurfsprozeß, Modellierung und Simulation
mikromechanischer Strukturen eingegangen. Es
wird die gemeinsame Lösung gekoppelter
Felder mit Hilfe der Netzwerkmethode (PSpice)
und die partitionierte Lösung mittels
Online-Simulatorkopplung (ANSYS–PSpice)
vorgestellt.

Ein wesentlicher Bestandteil der Arbeit ist die
Untersuchung der viskosen Luftdämpfung
mikromechanischer Elemente mit engen
Bewegungsspalten. Es werden verschiedene
Möglichkeiten der vereinfachten Berechnung
gezeigt.

Identiferoai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa.de:bsz:ch1-200000938
Date12 December 2000
CreatorsBillep, Detlef
ContributorsTU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
PublisherUniversitätsbibliothek Chemnitz
Source SetsHochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden
Languagedeu
Detected LanguageGerman
Typedoc-type:doctoralThesis
Formatapplication/pdf, application/zip, text/plain, application/zip

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