Entwicklung und Charakterisierung einer neuen Clusterquelle für die Herstellung dünner Schichten

Description

Freiburg (Breisgau), Universiẗat, Diss., 2003.

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1. http://www.freidok.uni-freiburg.de/volltexte/736/pdf/Doktorarbeit.pdf
2. http://www.freidok.uni-freiburg.de/volltexte/736
3. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=967997275

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Titannitrid

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/76543522
Date	January 2003
Creators	Fiess, Octavian.
Publisher	[S.l. : s.n.],
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German
Source	LF