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Wachstum und Eigenschaften von ionenstrahlunterstützt aufgedampften TiN-Schichten /Wolff, Detlef. January 2000 (has links)
Zugl.: Kaiserslautern, Universiẗat, Diss., 2000.
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Entwicklung und Charakterisierung einer neuen Clusterquelle für die Herstellung dünner SchichtenFiess, Octavian. January 2003 (has links) (PDF)
Freiburg (Breisgau), Universiẗat, Diss., 2003.
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Superharte TiN-, Si3N4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer GasphasenabscheidungProcházka, Jan. January 2003 (has links) (PDF)
München, Techn. Universiẗat, Diss., 2003.
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Zum Ätzen von titanhaltigen HartstoffschichtenRommerskirchen, Michael. January 2001 (has links)
Köln, Univ., Diss., 2001. / Computerdatei im Fernzugriff.
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Zum Ätzen von titanhaltigen HartstoffschichtenRommerskirchen, Michael. January 2001 (has links)
Köln, Univ., Diss., 2001. / Computerdatei im Fernzugriff.
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Zum Ätzen von titanhaltigen HartstoffschichtenRommerskirchen, Michael. January 2001 (has links) (PDF)
Köln, Universiẗat, Diss., 2001.
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Mikrostruktur und Eigenschaften von Titannitrid/Siliciumnitrid-SchichtenKauffmann, Florian. January 2003 (has links)
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2003.
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Ätzen von Titannitrid mit Halogenverbindungen Kammerreinigung mit externer PlasmaquelleHellriegel, Ronald January 2009 (has links)
Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2009
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Titannitrid- und Titan-Schichten für die Nano-ElektromechanikPritschow, Marcus, January 2007 (has links)
Stuttgart, Univ., Diss., 2007.
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Basic structure and formation mechanism of Ti-Si-N superhard nanocomposite coatingsLiu, Xuejie January 2008 (has links)
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2008
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