Superharte TiN-, Si3N4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer Gasphasenabscheidung

Description

München, Techn. Universiẗat, Diss., 2003.

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1. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=968944590
2. http://tumb1.biblio.tu-muenchen.de/publ/diss/ch/2003/prochazka.pdf
3. http://tumb1.biblio.tu-muenchen.de/publ/diss/ch/2003/prochazka.html

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Titannitrid Titannitrid

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/76667011
Date	January 2003
Creators	Procházka, Jan.
Publisher	[S.l. : s.n.],
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German
Source	LF