Wachstum und Eigenschaften von ionenstrahlunterstützt aufgedampften TiN-Schichten /

Description

Zugl.: Kaiserslautern, Universiẗat, Diss., 2000.

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1. http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&doc_number=009007480&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA

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Titannitrid

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/76154670
Date	January 2000
Creators	Wolff, Detlef.
Publisher	Aachen : Shaker,
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German