Šiame darbe apžvelgiama plazmos savybės, jonų ir atomų sąveika su kietų kūnų paviršiais, balistiniai procesai. Aptarti plonų dangų nusodinimo metodai, titano dioksido (TiO2) panaudojimo galimybės ir fotokatalitinis efektas. TiO2 yra plačiai naudojamas pramonėje dėl savo gerų mechaninių, elektrinių ir optinių savybių. Magnetroninis dulkinimas buvo pasirinktas dangų formavimo procese. Darbo tikslas – oksiduoti titano dangas reaktyvioje vandens garų plazmoje naudojant joninio implantavimo technologiją ir paaiškinti deguonies bei vandenilio judėjimo mechanizmą Ti dangose. Bandiniai paveikti skirtingos galios plazma, oksidavimo laikai nevienodi. Prieš ir po sąveikos su plazma dangos analizuotos šiais metodais: SEM, EDS, GDOES, AES, XRD. Pagal gautus rezultatus darbe gilintasi į skirtingo storio dangų oksidavimo mechanizmus. / In this paper plasma properties, ions and atoms interaction with solids is explained as well as ballistic processes. Thin films deposition methods, TiO2 characteristics and photocatalytic effect is discussed. Titanium oxide is widely used in industry for its good mechanical, electrical and optical properties. Physical vapor deposition is a method that enables us to obtain the layers with desirable properties. The aim of this research is to oxidize titanium using water vapor plasma immersion ion implantation (PIII) technology and to develop the mechanism of oxygen and hydrogen transport in Ti film. Samples were fabricated after different power and duration of plasma treatment. All of them have been analyzed by nanoprofilometer, SEM (scanning electron microscopy), EDS (energy dispersive X – ray spectroscopy), AES (Auger electron spectroscopy), GDOES (glow discharge optical emission spectroscopy) and XRD (X – ray diffraction). The oxidation mechanism of Ti films with different thicknesses is discussed on the basis of the obtained experimental results.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:LABT_ETD/oai:elaba.lt:LT-eLABa-0001:E.02~2013~D_20130204_164054-80983 |
| Date | 04 February 2013 |
| Creators | Rajackas, Tomas |
| Contributors | Pranevičius, Liudvikas, Pranevičius, Liudas, Urbonas, Rolandas, Milčius, Darius, Kamuntavičius, Gintautas, Vytautas Magnus University |
| Publisher | Lithuanian Academic Libraries Network (LABT), Vytautas Magnus University |
| Source Sets | Lithuanian ETD submission system |
| Language | Lithuanian |
| Detected Language | English |
| Type | Master thesis |
| Format | application/pdf |
| Source | http://vddb.laba.lt/obj/LT-eLABa-0001:E.02~2013~D_20130204_164054-80983 |
| Rights | Unrestricted |
Page generated in 0.0058 seconds