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Abscheidung funktioneller Schichten mittels Plasmatronzerstäubung

Zinn- und Zinnlegierungsschichten wurden mittels einer Magnetronquelle auf CuSn6-
Substrate aufgebracht. Durch Wahl geeigneter Legierungspartner (Al. Ti), die galvanisch nicht
abscheidbar sind, konnten Schichtwerkstoffe mit neuen Eigenschaften hergestellt und hinsichtlich
einer Eignung als Kontaktveredelung geprüft werden. Verantwortlich dafür ist eine Umwandlung
der grobkristallinen, durch säulenförmige Kristallite geprägten in eine feinkristalline dichte, zur
Oberfläche parallel orientierte Struktur.

Identiferoai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa:de:qucosa:19296
Date28 April 2010
CreatorsKupfer, Hartmut, Ackermann, Eckehard, Hecht, Günther
PublisherTechnische Universität Chemnitz
Source SetsHochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden
LanguageGerman
Detected LanguageGerman
Typedoc-type:article, info:eu-repo/semantics/article, doc-type:Text
SourceWissenschaftliche Zeitschrift der TH Karl-Marx-Stadt. – 28 (1986) 2, S. 203 - 209
Rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess
Relation0372-7610

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