Durch eine selektive Bedampfung von Kontaktbauteilen kann der Edelmetallverbrauch gesenkt werden.
Das Molekularstrahlverfahren wird bezüglich seiner Eignung zur selektiven Beschichtung
untersucht. Die wichtigsten Quellenparameter (Verdampfungsrate dN/dt und Halbwertsbreite H) werden
abgeschätzt und mit der experimentell ermittelten Schichtdickenverteilung verglichen.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa:de:qucosa:19267 |
| Date | 03 March 2010 |
| Creators | Kupfer, Hartmut, Hecht, Günther |
| Publisher | Technische Universität Chemnitz |
| Source Sets | Hochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden |
| Language | German |
| Detected Language | German |
| Type | doc-type:article, info:eu-repo/semantics/article, doc-type:Text |
| Source | Wissenschaftliche Zeitschrift der TH Karl-Marx-Stadt. – 22 (1980) 7, S. 687 - 693 |
| Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Relation | 0372-7610 |
Page generated in 0.1025 seconds