Les travaux de recherche présentés dans ce mémoire s'inscrivent dans le cadre du développement des techniques d'intégration de puissance SMART POWER, technologies où cohabitent sur le même substrat des composants de puissance haute tension (dans la gamme de 80V) et des composants de commande base tension de type CMOS. Nous étudions les modes de fonctionnement anormaux pendant lesquels l'isolation entre les différents blocs du circuit n'est plus assurée. Les diodes d'isolation, normalement maintenues à l'état bloqué, se retrouvent polarisées en direct ce qui se traduit par l'injection d'un important courant d'électrons dans le substrat du circuit intégré (Ie>1A). Nous détaillons d'abord les caractéristiques et les conséquences de ces courants parasites et donnons un inventaire des techniques de protection employées. Sur la base d'une compréhension physique des mécanismes mis en jeu, appuyés par des simulations numriques 2D, nous présentons deux familles de solutions permettant de protéger le circuit intégré contre ces courants de substrat. La première, dite passive, exploite au mieux la collection et la recombinaison de ces électrons, soit par des anneaux de garde, soit par des MOS de puissance isolés. La seconde dite active, agi sur la polarisation du substrat lui-même et permet, soit de détourner efficacement le courant parasite des zones sensibles, soit de maintenir la diode d'isolation à l'état bloqué. Nous avons ensuite validé ces propositions par des composants de tests spécifiques, puis caractérisé leur efficacité au sein de circuits intégrés complets, réalisés dans des technologies SmartMosTM. Nous avons ainsi obtenu des circuits intégrés dont les courants de substrat sont inférieurs à 50µA.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:CCSD/oai:tel.archives-ouvertes.fr:tel-00515821 |
| Date | 10 December 2001 |
| Creators | Gonnard, Olivier |
| Publisher | Université Paul Sabatier - Toulouse III |
| Source Sets | CCSD theses-EN-ligne, France |
| Language | French |
| Detected Language | French |
| Type | PhD thesis |
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