Morphology and Placement Control of Microdomain Structure in Block Copolymer Thin Film for Fabricating Ultra High Density Pattern / 超高密度パターン形成に向けたブロック共重合体薄膜におけるミクロドメインの構造・配列制御

Description

Kyoto University (京都大学) / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第16883号 / 工博第3604号 / 新制||工||1544(附属図書館) / 29558 / 京都大学大学院工学研究科高分子化学専攻 / (主査)教授 長谷川 博一, 教授 吉﨑 武尚, 教授 金谷 利治 / 学位規則第4条第1項該当

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1. http://hdl.handle.net/2433/157615
2. 10.14989/doctor.k16883

Tags

Block copolymer

Microdomain structure

Directed self-assemble

thin film

500

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/157615
Date	26 March 2012
Creators	Tada, Yasuhiko
Contributors	長谷川, 博一, 吉﨑, 武尚, 金谷, 利治, 多田, 靖彦, タダ, ヤスヒコ
Publisher	京都大学 (Kyoto University), 京都大学
Source Sets	Kyoto University
Language	English
Detected Language	English
Type	DFAM, Thesis or Dissertation
Format	application/pdf