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Synthèse de couches ultra-minces de siliciures sur silicium cristallin et endommagé étudiée par microscopie et profilométrie en profondeur

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Identiferoai:union.ndltd.org:umontreal.ca/oai:papyrus.bib.umontreal.ca:1866/4346
Date03 1900
CreatorsTurcotte-Tremblay, Pierre
ContributorsSchiettekatte, François
Source SetsUniversité de Montréal
Detected LanguageFrench
TypeThèse ou mémoire / Thesis or Dissertation

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