Die Studienarbeit beschäftigt sich mit dem Entwurf
eines PC-gestützten Prozesssteuermoduls für eine
Atomlagenabscheideanlage.
Der erste Teil der Arbeit beschäftigt sich mit der
Übergangslösung, einem 4-stelligen Abwärtszähler
an der alten Prozesssteuereinheit.
Im zweiten Teil wird die Neuentwicklung dargestellt,
von der Spezifikation über den Schaltungsentwurf
bis zur Programmierung der Software. / This student research project is about a PC-based
process controller designed for an
atomic layer deposition equipment.
The first part of the document describes the temporary
solution, a 4-digit down counter connected to the old
process controller.
The second part presents the newly developed controller:
the specification, circuit design and software programming.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa:de:qucosa:18439 |
| Date | 17 December 2005 |
| Creators | Böhme, Michael |
| Contributors | Technische Universität Chemnitz |
| Source Sets | Hochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden |
| Language | German |
| Detected Language | German |
| Type | doc-type:StudyThesis, info:eu-repo/semantics/StudyThesis, doc-type:Text |
| Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
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