Surface Potential Measurements of Micropatterned Self-Assembled Monolayers (SAMs) on n-Si (111) via Kelvin Probe Force Microscopy / ケルビンプローブ力顕微鏡によるSi(111)表面に形成したSAMの表面電位計測

Description

京都大学 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第23897号 / 工博第4984号 / 新制||工||1778(附属図書館) / 京都大学大学院工学研究科材料工学専攻 / (主査)教授 杉村 博之, 教授 山田 啓文, 教授 邑瀬 邦明 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM

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1. http://hdl.handle.net/2433/275219
2. 10.14989/doctor.k23897
3. 14301

Tags

self-assembled monolayers

surface potential

Kelvin Probe Force Microscope

surface dipole

VUV photolithography

Micropattern

500

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/275219
Date	23 March 2022
Creators	GARCIA, MARIA CARMELA TAN
Contributors	ガルシア, マリア カルメラ タン
Publisher	Kyoto University, 京都大学
Source Sets	Kyoto University
Language	English
Detected Language	English
Type	doctoral thesis, Thesis or Dissertation
Rights	許諾条件により本文は2022-09-01に公開