Physics and engineering of sheet plasma devices / シートプラズマ装置の物理と工学 / シート プラズマ ソウチ ノ ブツリ ト コウガク

Description

また、この研究は、特定の動作条件で生成されたシートプラズマで、プラズマやシートプラズマの寸法を決定する動作パラメータなどのプラズマ条件を理解し、最適化パラメータと将来の産業用アプリケーションの条件を導き出すことも目的としています。 そのため、この研究は、表面技術アプリケーション用のシートプラズマデバイスの開発と理解に貢献することを試みています。 / Sheet plasmas have the advantage of producing thin films and functional surfaces by generating localized high-density and temperature gradient regions suitable for specific reactions. A stream of high energy electrons from a plasma cathode efficiently excites and/or ionizes atomic and molecular species which are confined in a linear magnetic field. An electron cyclotron resonance (ECR) sheet plasma device employing a 2.45 GHz microwave source and combination of permanent magnets and field coils was designed and operated. The combined field realized a linear magnetic field that sustained a rectilinear confinement of the plasma. / 博士(工学) / Doctor of Philosophy in Engineering / 同志社大学 / Doshisha University

Links & Downloads

1. https://doshisha.repo.nii.ac.jp/?action=repository_uri&item_id=1571
2. http://id.nii.ac.jp/1707/00001563/
3. 理工学研究科
4. Graduate School of Science and Engineering
5. BC02544948
6. https://doshisha.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=1571&item_no=1&attribute_id=21&file_no=1
7. https://doshisha.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=1571&item_no=1&attribute_id=21&file_no=2
8. 34310甲第1044号

Tags

sheet

plasma

diagnostics

ECR

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:doshisha.ac.jp/oai:doshisha.repo.nii.ac.jp:00001571
Date	20 September 2019
Creators	Arnold Rey Burgos Gines
Source Sets	Doshisha University
Language	English
Detected Language	English
Type	Thesis or Dissertation
Format	application/pdf
Source	https://doors.doshisha.ac.jp/opac/opac_link/bibid/BB13128127/?lang=0