Experimental Investigation on Mechanical Properties of Nanospring Thin Films Fabricated by Glancing Angle Deposition Technique / 斜め蒸着法で作製したナノスプリング薄膜の機械特性評価に関する研究

Description

京都大学 / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第20331号 / 工博第4268号 / 新制||工||1661(附属図書館) / 京都大学大学院工学研究科機械理工学専攻 / (主査)教授 北村 隆行, 教授 北條 正樹, 教授 西脇 眞二 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM

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1. http://hdl.handle.net/2433/225556
2. 14301甲第20331号
3. 10.14989/doctor.k20331
4. 14301

Tags

Glancing angle deposition

Nanospring thin film

Mechnical properties

Growth regulation

Yield behavior

Single nanospring

In situ tension test

500

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:kyoto-u.ac.jp/oai:repository.kulib.kyoto-u.ac.jp:2433/225556
Date	23 March 2017
Creators	Shaoguang, Chen
Contributors	北村, 隆行, 北條, 正樹, 西脇, 眞二, 陳, 紹广, チェン, シャオガン
Publisher	京都大学 (Kyoto University), 京都大学
Source Sets	Kyoto University
Language	English
Detected Language	English
Type	doctoral thesis, Thesis or Dissertation
Format	application/pdf