Plasmapolymerisation von Hexamethyldisiloxan zur Abscheidung von quarzähnlichen Schichten bei gepulster Leistungszufuhr

Description

Wuppertal, Univ., Diss., 2001. / Computerdatei im Fernzugriff.

Links & Downloads

1. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=964174111

Tags

Hexamethyldisiloxan

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/638357876
Date	January 2000
Creators	Soll, Christian.
Publisher	[S.l.] : [s.n.],
Source Sets	OCLC
Language	Undetermined
Detected Language	German