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Plasmapolymerisation von Hexamethyldisiloxan zur Abscheidung von quarzähnlichen Schichten bei gepulster Leistungszufuhr

Wuppertal, Univ., Diss., 2001. / Computerdatei im Fernzugriff.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/638357879
Date January 2000
CreatorsSoll, Christian.
Publisher[S.l.] : [s.n.],
Source SetsOCLC
LanguageUndetermined
Detected LanguageGerman

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