Plasmapolymerisation von Hexamethyldisiloxan zur Abscheidung von quarzähnlichen Schichten bei gepulster Leistungszufuhr

Description

Wuppertal, Universiẗat, Diss., 2001.

Links & Downloads

1. http://www.bib.uni-wuppertal.de/elpub/fb13/diss2000/d130005.pdf
2. http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=964174111

Tags

Hexamethyldisiloxan

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/76299296
Date	January 2000
Creators	Soll, Christian.
Publisher	[S.l. : s.n.],
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German