L'intégration 3D fait actuellement figure d'alternative potentielle à la simple réduction des dimensions pour maintenir l'augmentation de la densité des circuits intégrés, principal moteur de l'industrie microélectronique depuis 40 ans. Cette thèse porte sur l'intégration à trois dimensions séquentielle où les transistors des différents niveaux sont fabriqués les uns après les autres sur un même substrat. La difficulté majeure de ce type d'intégration est la réalisation des niveaux de transistors supérieurs à bas budget thermique afin de préserver le niveau de transistor inférieur de toute dégradation. Dans cette thèse nous démontrons des cellules 3D fonctionnelles (inverseurs, SRAM) à cheval sur les deux niveaux. Plusieurs originalités par rapport à l'état de l'art, tel que : le développement de la brique siliciuration stable en température pour le FET inférieur, la réalisation de la zone active supérieur via un transfert par collage moléculaire et le développement de FET supérieur à bas budget thermique inférieur à 650°C sont démontrées Une deuxième partie de la thèse est consacrée à l'identification des applications de cette intégration. Dans le cas d'applications logiques, nous analysons conjointement les perspectives de gain en densité, performance et coût. D'autres applications comme les mémoires SRAMs, FLASH et les imageurs faiblement miniaturisés apparaissent comme des marchés potentiels pour cette intégration. L'intérêt de l'utilisation du couplage entre les transistors empilés permettant de modifier dynamiquement la tension de seuil du transistor supérieur est démontré par la conception de cellules SRAMs à stabilité améliorée.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:CCSD/oai:tel.archives-ouvertes.fr:tel-00455428 |
| Date | 25 September 2009 |
| Creators | Batude, Perrine |
| Source Sets | CCSD theses-EN-ligne, France |
| Language | French |
| Detected Language | French |
| Type | PhD thesis |
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