Modellierung und Simulation orientierungsabhängiger Ätzprozesse in Silizium

Description

Techn. Universiẗat, Diss., 2005--München.

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1. http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=977703061

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/615148105
Creators	Horn, Anton.
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German