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Stabilität und laterale Mobilität von porenüberspannenden Membranen auf porösen Siliziumsubstraten / Stability and lateral mobility of pore-suspending membranes on porous silicon substrates

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Identiferoai:union.ndltd.org:uni-goettingen.de/oai:ediss.uni-goettingen.de:11858/00-1735-0000-0006-B4BB-6
Date30 April 2009
CreatorsWeiskopf, Daniela
ContributorsSchmidt, Christoph F. Prof. Dr.
Source SetsGeorg-August-Universität Göttingen
LanguageGerman
Detected LanguageEnglish
TypedoctoralThesis
Formatapplication/pdf
Rightshttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/

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