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Entwurf und Realisierung eines Informationssystems zur Prozeßdatenverwaltung und -verarbeitung im durchgängigen Halbleitertechnologieprozeß

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Identiferoai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa.de:bsz:14-qucosa-98779
Date14 November 2012
CreatorsGratz, Achim, Schulz, Patrick, Spallek, Rainer G.
ContributorsTechnische Universität Dresden, Fakultät Informatik
PublisherSaechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden
Source SetsHochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden
Languagedeu
Detected LanguageGerman
Typedoc-type:workingPaper
Formatapplication/pdf, application/postscript, application/zip
Relationdcterms:isPartOf:Technische Berichte / Technische Universität Dresden, Fakultät Informatik ; 1997,05 (TUD-FI97-05 Mai 1997)

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