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Diagnostics spectroscopiques de plasmas RF en régime de pulvérisation physique et en présence de générations successives de poussières dans les chimies organosiliciées

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1. http://hdl.handle.net/1866/21759
2. https://orcid.org/0000-0001-7689-2306

Identifer	oai:union.ndltd.org:umontreal.ca/oai:papyrus.bib.umontreal.ca:1866/21759
Date	09 1900
Creators	Garofano, Vincent
Contributors	Stafford, Luc
Source Sets	Université de Montréal
Detected Language	French
Type	Thèse ou mémoire / Thesis or Dissertation