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Development of a traceable atomic force microscope with interferometer and compensation flexure stage /

Techn. Univ., Diss.--Ilmenau, 2003. / Parallel als Online-Ausg. erschienen unter der Adresse http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=1183. Literaturverz. S. 90 - 95.

Identiferoai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/249345271
Date January 2003
CreatorsChen, Chao-Jung. Jäger, Gerd
Source SetsOCLC
LanguageEnglish
Detected LanguageEnglish

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