Entwicklung eines frequenzselektiven Schwingungsmesssystems mit abstimmbaren mikromechanischen Resonatoren

Description

In der vorliegenden Arbeit wird die Entwicklung eines auf mikromechanischen Sensorstrukturen
basierenden Schwingungsmesssystems dargestellt. Die Besonderheit besteht im frequenzselektiven
Wirkprinzip. Der Sensor siebt an seiner Resonanzstelle aus einem breitbandigen
Anregungssignal ein schmales Band heraus und unterdrückt die anderen Frequenzbereiche.
Auf diese Weise werden ohne Fourier-Transformation direkt spektrale Informationen gewonnen.
Weiterhin sind die Resonanzfrequenz und damit der Messbereich mittels elektrostatischer
Kräfte in einem weiten Bereich abstimmbar.

Links & Downloads

1. urn:nbn:de:swb:ch1-200500197
2. https://monarch.qucosa.de/id/qucosa%3A18276
3. https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A18276/attachment/ATT-0/
4. https://monarch.qucosa.de/api/qucosa%3A18276/attachment/ATT-1/

Tags

info:eu-repo/classification/ddc/620

ddc:620

Maschinenschwingung

Messsystem

Mikromechanik

Resonanzschwingung

Schwingungsspektrum

Sensor-Array

Zustandsüberwachung

Resonanzabstimmung

SCREAM

frequenzselektiv

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa:de:qucosa:18276
Date	04 February 2005
Creators	Scheibner, Dirk
Contributors	Technische Universität Chemnitz
Source Sets	Hochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden
Language	German
Detected Language	German
Type	doc-type:doctoralThesis, info:eu-repo/semantics/doctoralThesis, doc-type:Text
Rights	info:eu-repo/semantics/openAccess