At the Tandem accelerator in the Ångström laboratory, Uppsala, Rutherford backscattering spectrometry (RBS) is one of the methods used for thin film analysis, providing information on thickness and composition. The films are commonly grown on silicon substrates, whose crystal structure gives rise to channelling effects (a strong angular dependence in the intensity of the signal), which can cause faulty results. For other samples, channelling may also be used to get information on crystal structure and quality. This work demonstrates new functions to the existing software, aiming at minimizing these effects. The new methods have been tested by measurements both in channelling directions and in directions determined by the old method. In comparison with the earlier method the worst-case error is of order 80 %,commonly around 20 %, but it is possible to achieve an error which is not detectable. It is worth to note that the stated errors appear in tests oriented for maximum channelling, where effects without the new methods give an error corresponding to an apparent thin-film thickness almost 18 times that of the actual thickness. / Vid Tandemlabbet i Ångströmlaboratoriet, Uppsala, används bland annat Rutherford backscattering spectrometry (RBS) för att undersöka egenskaper, t.ex tjocklek och sammansättning, hos tunnfilmer som ofta är odlade på kiselsubstrat. Kiselkristallernas struktur ger upphov till kanaliseringseffekter, d.v.s starkt vinkelberoende intensitet, som i detta sammanhang kan ge felaktiga resultat. För andra prover kan kanaliseringseffekter användas för att få information om kristallstruktur och kvalitet. I det här arbetet demonstreras nyskrivna funktioner till befintlig mjukvara med syfte att minimera dessa effekter. De nya funktionerna har testats genom provtagningar i orienteringar som är gynnsamma och icke gynnsamma för kanalisering. Vid jämförelse med tidigare metoder ger de nya metoderna ett fel på i värsta fall ca. 80%, med bättre parametrar sjunker felet till ca 20 % och med rätt val av parametrar försvinner felet jämfört med tidigare metod. Värt att notera är att ovanstående maximala fel uppstår vid test orienterat för maximal kanalisering, där effekterna utan de nya metoderna ger ett fel på uppemot en faktor 18.
| Identifer | oai:union.ndltd.org:UPSALLA1/oai:DiVA.org:uu-230962 |
| Date | January 2014 |
| Creators | Svensson Sjöbom, Ludvig |
| Publisher | Uppsala universitet, Tillämpad kärnfysik |
| Source Sets | DiVA Archive at Upsalla University |
| Language | English |
| Detected Language | English |
| Type | Student thesis, info:eu-repo/semantics/bachelorThesis, text |
| Format | application/pdf |
| Rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Relation | FYSAST ; FYSKAND1023 |
Page generated in 0.0022 seconds