Entwicklung einer neuartigen Plasmafiltertechnik für die Abscheidung defektarmer superharter Kohlenstoffschichten

Description

Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Entwicklung eines Plasmafilters für die Herstellung defektarmer wasserstofffreier Kohlenstoffschichten (ta-C) auf Basis einer leistungsfähigen gepulsten Vakuumbogentechnologie sowie der Charakterisierung der mit dieser Technologie abgeschiedenen Schichten.

Links & Downloads

1. urn:nbn:de:bsz:14-qucosa2-331335
2. 518219062
3. https://tud.qucosa.de/id/qucosa%3A33133
4. https://tud.qucosa.de/api/qucosa%3A33133/attachment/ATT-0/

Tags

PVD, Plasmafilter, ta-C, DLCIm

info:eu-repo/classification/ddc/620

ddc:620

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa:de:qucosa:33133
Date	08 February 2019
Creators	Englberger, Gregor
Contributors	Beyer, Eckhard, Leyens, Christoph, Technische Universität Dresden
Source Sets	Hochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden
Language	German
Detected Language	German
Type	info:eu-repo/semantics/acceptedVersion, doc-type:doctoralThesis, info:eu-repo/semantics/doctoralThesis, doc-type:Text
Rights	info:eu-repo/semantics/openAccess