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Ein Beitrag zur Kohlenstoffkontrolle bei der VGF-Züchtung von semi-isolierenden GaAs-Kristallen

Erstmalig wurden für die VGF-Züchtung von GaAs-Kristallen die verschiedenen Möglichkeiten der Beeinflussung der Kohlenstoffkonzentration untersucht und Möglichkeiten zu deren zielstrebigen Einstellung aufgezeigt. Dies eröffnet auch für die so gezüchteten Kristalle den semi-isolierenden Widerstandsbereich bei niedrigkompensiertem GaAs technologisch sicher einstellen zu können. Anhand umfangreicher experimenteller Daten und thermodynamischer Betrachtungen werden die komplexen Zusammenhänge untersucht und Lösungswege für die technologische Beherrschung aufgezeigt. Das auf die experimentellen Daten angewendete Modell erzeugte die notwendigen Regelparameter für einen gradientenfreien Verlauf der Kohlenstoffkonzentration entlang der Kristallachse. Die Ergebnisse der Dissertation konnten in eine industrielle Fertigungstechnologie übertragen werden.

Identiferoai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa.de:swb:105-1652461
Date20 July 2009
CreatorsBünger, Thomas
ContributorsTU Bergakademie Freiberg, Werkstoffwissenschaft und Werkstofftechnologie, Prof. Dr.-Ing. habil. Eberhard Buhrig, Prof. Dr.-Ing. habil. Eberhard Buhrig, Prof. Dr. rer. nat. habil. Peter Rudolph, Dr.-Ing. Manfred Jurisch
PublisherTechnische Universitaet Bergakademie Freiberg Universitaetsbibliothek "Georgius Agricola"
Source SetsHochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden
Languagedeu
Detected LanguageGerman
Typedoc-type:doctoralThesis
Formatapplication/pdf

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