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Entwicklung eines frequenzselektiven Schwingungsmesssystems mit abstimmbaren mikromechanischen Resonatoren

In der vorliegenden Arbeit wird die Entwicklung eines auf mikromechanischen Sensorstrukturen
basierenden Schwingungsmesssystems dargestellt. Die Besonderheit besteht im frequenzselektiven
Wirkprinzip. Der Sensor siebt an seiner Resonanzstelle aus einem breitbandigen
Anregungssignal ein schmales Band heraus und unterdrückt die anderen Frequenzbereiche.
Auf diese Weise werden ohne Fourier-Transformation direkt spektrale Informationen gewonnen.
Weiterhin sind die Resonanzfrequenz und damit der Messbereich mittels elektrostatischer
Kräfte in einem weiten Bereich abstimmbar.

Identiferoai:union.ndltd.org:DRESDEN/oai:qucosa.de:swb:ch1-200500197
Date10 March 2005
CreatorsScheibner, Dirk
ContributorsTU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
PublisherUniversitätsbibliothek Chemnitz
Source SetsHochschulschriftenserver (HSSS) der SLUB Dresden
Languagedeu
Detected LanguageGerman
Typedoc-type:doctoralThesis
Formatapplication/pdf, text/plain, application/zip

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