Emprego da espectroscopia de elétrons auger na otimização do crescimento de estruturas semicondutoras em MOCVD

Description

Orientador: Richard Landers / Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin / Made available in DSpace on 2018-07-14T00:21:42Z (GMT). No. of bitstreams: 1
Morais_Jonder_M.pdf: 2560779 bytes, checksum: f0428c05db1c6217d816c87871dbca5d (MD5)
Previous issue date: 1991 / Resumo: Neste trabalho propomos crescer e caracterizar estruturas semicondutoras do tipo GaAs/GalnAs e InP/GalnAs, tendo em vista o estudo das interfaces. As amostras foram crescidas por MOCVD (Metalorganic Chemical Vapor Deposition) a pressão atmosférica. e foram analisadas por Espectroscopia de Elétrons AUGER associada à erosão iônica.
Foram feitas amostras onde empregou-se interrupções de crescimento ("growth interruptions") nas interfaces, com o objetivo de torna-las o mais abruptas possivel. Foram obtidos perfis em profundidade ( "depth profiles") destas amostras para estudar o comportamento das interfaces em função das interrupções.
As análises AUGER também foram utilizadas para apontar eventuais problemas nos crescimentos. auxiliando desta forma na escolha da melhor geometria do reator.
Também foram crescidos e analisados Super-redes (SL) e Poços quânticos múltiplos (MQW), bem como um dispositivo H.E.M.T. (high electron mobility transistor) / Abstract: Not informed. / Mestrado / Física / Mestre em Física

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1. MORAIS, Jonder. Emprego da espectroscopia de elétrons auger na otimização do crescimento de estruturas semicondutoras em MOCVD. 1991. [113]f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/277020>. Acesso em: 13 jul. 2018.
2. http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/277020

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Semicondutores

Análise espectral

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:IBICT/oai:repositorio.unicamp.br:REPOSIP/277020
Date	09 August 1991
Creators	Morais, Jonder
Contributors	UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS, Landers, Richard, 1946-, Landers, Richard
Publisher	[s.n.], Universidade Estadual de Campinas. Instituto de Física Gleb Wataghin, Programa de Pós-Graduação em Física
Source Sets	IBICT Brazilian ETDs
Language	Portuguese
Detected Language	Portuguese
Type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion, info:eu-repo/semantics/masterThesis
Format	[113]f. : il., application/pdf
Source	reponame:Repositório Institucional da Unicamp, instname:Universidade Estadual de Campinas, instacron:UNICAMP
Rights	info:eu-repo/semantics/openAccess