Spektroskopische Untersuchung und Modellierung von mikrowellen-angeregten Silanplasmen /

Description

Thesis (doctoral)--Universität Stuttgart, 1995.

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1. http://www.opus-bayern.de/uni-augsburg/volltexte/2007/686/

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Identifer	oai:union.ndltd.org:OCLC/oai:xtcat.oclc.org:OCLCNo/60842277
Date	January 1995
Creators	Fantz, Ursel.
Source Sets	OCLC
Language	German
Detected Language	German
Source	kostenfrei