Étude de la gravure physico-chimique du titanate de strontium dans un plasma fluoré

Description

Mémoire numérisé par la Direction des bibliothèques de l'Université de Montréal.

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1. http://hdl.handle.net/1866/17356

Tags

Pulvérisation

Spectrométrie de masse

Actinométrie

SF₆

Additional Fields

Identifer	oai:union.ndltd.org:umontreal.ca/oai:papyrus.bib.umontreal.ca:1866/17356
Date	January 2005
Creators	Langlois, Olivier
Contributors	Margot, Joëlle
Source Sets	Université de Montréal
Language	French
Detected Language	French
Type	Thèse ou Mémoire numérique / Electronic Thesis or Dissertation