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Search results

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アルカリ金属ソースタブレットと犠牲マイクロ流路気密封止技術を用いた原子磁気センサ用アルカリ金属蒸気セルの作製手法に関する研究

辻本, 和也 24 March 2014 (has links)
京都大学 / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第18270号 / 工博第3862号 / 新制||工||1592(附属図書館) / 31128 / 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 / (主査)教授 田畑 修, 教授 蓮尾 昌裕, 教授 中部 主敬 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM
微細加工技術
原子磁気センサ
アルカリ金属蒸気セル
ガラスフリット接合
気密性評価
500

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