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Search results

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Spelling suggestions: "subject:"パワーデバイス"" "subject:"ナノデバイス""

1

低応力X線吸収体の成膜とX線マスクのパターン位置精度の向上に関する研究

丸本, 健二 25 November 2013 (has links)
京都大学 / 0048 / 新制・論文博士 / 博士(工学) / 乙第12791号 / 論工博第4098号 / 新制||工||1583(附属図書館) / 30810 / (主査)教授 斧 髙一, 教授 田畑 修, 教授 琵琶 志朗 / 学位規則第4条第2項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM
半導体デバイス
リソグラフィー
X線マスク
応力
吸収体
500
2

アトムプローブ法および走査型トンネル顕微鏡法を用いた局所構造分析に関する研究

金野, 晃之 24 September 2021 (has links)
京都大学 / 新制・論文博士 / 博士(工学) / 乙第13444号 / 論工博第4195号 / 新制||工||1770(附属図書館) / (主査)教授 河合 潤, 教授 鈴木 基史, 准教授 黒川 修 / 学位規則第4条第2項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM
アトムプローブ
半導体デバイス
走査型トンネル顕微鏡
グラファイト層間化合物
弾道電子放射顕微鏡
500

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