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高周波プラズマ型荷電粒子源の開発とその応用 / コウシュウハ プラズマガタ カデン リュウシゲン ノ カイハツ ト ソノ オウヨウ

酒井, 滋樹 23 March 2009 (has links)
Kyoto University (京都大学) / 0048 / 新制・論文博士 / 博士(工学) / 乙第12337号 / 論工博第4015号 / 新制||工||1466(附属図書館) / 27192 / UT51-2009-D552 / (主査)教授 石川 順三, 教授 橘 邦英, 教授 髙岡 義寛 / 学位規則第4条第2項該当
イオン注入
極浅接合形成
帯電緩和
高周波プラズマ
500

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