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Search results

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単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度と疲労に関する実験力学的研究

上杉, 晃生 23 September 2016 (has links)
京都大学 / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第19993号 / 工博第4237号 / 新制||工||1655(附属図書館) / 33089 / 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 / (主査)教授 田畑 修, 教授 北條 正樹, 准教授 土屋 智由, 教授 琵琶 志朗 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM
単結晶シリコン
引張試験
脆性延性遷移
並列試験
MEMS
500

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