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イオンビーム照射中に生じる点欠陥の自己緩和に関する研究

南川, 英輝 26 September 2022 (has links)
京都大学 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第24229号 / 工博第5057号 / 新制||工||1789(附属図書館) / 京都大学大学院工学研究科原子核工学専攻 / (主査)教授 斉藤 学, 准教授 土田 秀次, 教授 木野村 淳 / 学位規則第4条第1項該当 / Doctor of Philosophy (Engineering) / Kyoto University / DFAM
イオンビーム
単結晶シリコン薄膜
多結晶アルミニウム薄膜
自立薄膜の照射誘起変形
可逆変形
欠陥の自己緩和
500

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