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Search results

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高分解能RBS/ERDAにおける深さ方向分析の高度化に関する研究

笹川, 薫 25 March 2013 (has links)
Kyoto University (京都大学) / 0048 / 新制・課程博士 / 博士(工学) / 甲第17558号 / 工博第3717号 / 新制||工||1566(附属図書館) / 30324 / 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻 / (主査)教授 木村 健二, 教授 井手 亜里, 教授 河合 潤 / 学位規則第4条第1項該当
高分解能 RBS
高分解能 ERDA
多重散乱
HfO2
ホウ素
500

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