Titano dioksidas, pasižymintis unikaliomis fizikinėmis bei cheminėmis savybėmis, yra gerai žinoma, plačiai naudojama bei tyrinėjama medžiaga. Tiriant TiO2 elektrines savybes, galima gauti informacijos, kokios naujos medžiagos fazės formuojasi plonasluoksnėse dangose. Elektrinė titano dioksido varža priklauso nuo bandinio stechiometriškumo, nusakančio vyraujančius defektus bei laidumo tipą. Siekiant gauti norimų savybių plonasluoksnes dangas, būtina atsižvelgti į bandinių paruošimo ir gamybos procesus. Bandinių nusodinimui naudojama vakuuminė užnešimo technika leidžia kontroliuoti procesus, lemiančius dangos savybes. Šiame darbe buvo atliekama literatūros analizė apie elektrines TiO2 savybes bei įvairių faktorių įtaką šio parametro kitimui. Taip pat atkreiptas dėmesys į plonasluoksnių struktūrų nusodinimą, naudojant fizikinį dangų nusodinimą iš garų fazės (PVD). Paviršinės TiO2 varžos tyrimas buvo atliekamas panaudojant 4 zondų metodą. / Titanium dioxide is well known, widely used and investigated material that shows unique physical and chemical properties. Investigations of TiO2 electrical conductivity gives an information about the new phases formed in thin films. Surface resistance of titanium dioxide depends on sample‘s stoichiometry and it shows predominant defects and type of conductivity being in the thin film structure. It is very important to pay an attention into processes of sample‘s preparation and formation technique in order to get thin films with desirable properties. Thin films were formed using vacuum deposition technique. There has been done a scientific literature survey in order to know the main factors that causes changes of TiO2 electrical properties in this work. An attention was paid into deposition of thin film structures using physical vapor deposition (PVD) technique as well. Measurements of TiO2 surface resistance were done using four probe method.