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Search results
Showing 1 to 2 of 2 (0.155 seconds)Spelling suggestions: "subject:"cobaltfluorid"" "subject:"metallfluorid""
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Festphasenreaktionen metallischer Doppelschichten mit SiliciumHortenbach, Heiko 10 November 1999 (has links) (PDF)
In dieser Arbeit wurde der Einfluss dünner Siliciumdioxidschichten
auf die im Co(20 nm)/Ti(5 nm)/SiO$_{2}$(0...3 nm)/Si(100) System,
bei einer Kurzzeittemperung, ablaufenden Festphasenreaktionen
untersucht. Weiterhin wurden Festphasenreaktionen an Co/C/Si(100)
und Ti/Co/C/Si(100) Schichtsystemen untersucht. Plasmaätzprozesse
wurden zur Entfernung der, im Co/Ti/Si-System nach Temperung
entstehenden, reaktionsbedingten Deckschicht verwendet.
Die Charakterisierung der Proben erfolgte mittels elektrischer Messungen,
TEM, STM, XRD, RBS und AES.
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Festphasenreaktionen metallischer Doppelschichten mit SiliciumHortenbach, Heiko 10 November 1999 (has links)
In dieser Arbeit wurde der Einfluss dünner Siliciumdioxidschichten
auf die im Co(20 nm)/Ti(5 nm)/SiO$_{2}$(0...3 nm)/Si(100) System,
bei einer Kurzzeittemperung, ablaufenden Festphasenreaktionen
untersucht. Weiterhin wurden Festphasenreaktionen an Co/C/Si(100)
und Ti/Co/C/Si(100) Schichtsystemen untersucht. Plasmaätzprozesse
wurden zur Entfernung der, im Co/Ti/Si-System nach Temperung
entstehenden, reaktionsbedingten Deckschicht verwendet.
Die Charakterisierung der Proben erfolgte mittels elektrischer Messungen,
TEM, STM, XRD, RBS und AES.
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