Esta tese descreve um estudo da corrosão anisotrópica do silício monocristalino em solução de KOH. As superfícies sendo corroídas foram observadas em tempo real com um vídeo-microscópio, e foram medidos parâmetros Tb e Ram de bolhas produzidas na reação para correlacionar com a respectiva rugosidade resultante. O objetivo dessas medidas foi testar experimentalmente um modelo que atribui a maior parte da rugosidade ao mascaramento aleatório das superfícies por bolhas aderidas. Em alguns experimentos foi adicionado K3Fe(CN)6 às soluções de KOH para investigar o efeito desse aditivo nos parâmetros de bolhas e na rugosidade resultante da superfície corroída. Também foram feitas corrosões eletroquímicas para testar o efeito do potencial externo sobre as bolhas e as superfícies corroídas. A observação em tempo real também permitiu investigar as ocorrências, em corrosões de silício nas quais a ponta de um fio de platina foi mantida encostada, ou perto da superfície sendo corroída, para verificar se o aumento da velocidade de corrosão, observado nessas circunstâncias, é devido, talvez, ao aprisionamento de bolhas na ponta do fio. Os resultados deste trabalho mostram que os parâmetros de bolhas Tb e Ram assim como a rugosidade resultante das superfícies corroídas tendem a diminuir com o aumento da concentração de KOH na solução e com o aumento da temperatura. Isto mostra que a relação entre rugosidade e bolhas existe, como sugerido pelos autores da referência [6]. No entanto a simples diminuição dos parâmetros de bolhas não é suficiente para garantir superfície corroída com baixa rugosidade. Deve-se considerar a quantidade de bolhas produzidas na superfície. Poucas bolhas não significa que a superfície corroída estará ausente de marcas, pois nos espaços onde não há formação de bolhas pode haver formação de pirâmides que deixam a superfície corroída com rugosidade bastante elevada. A adição de K3Fe(CN)6 às soluções de KOH ou o uso de potencial anódico no silício suprime a formação dessas pirâmides.