Magíster en Ciencias, Mención Física / En esta tesis se estudian los procesos de oxidación de películas delgadas de cobre desnudas y recubiertas con 1-dodecanotiol. Mediante microscopía de efecto túnel y microscopía de fuerza atómica se estudió la morfología de estos sistemas, y con espectroscopía de fotoelectrones inducida por rayos X y método de cuatro contactos se estudió la evolución de la oxidación superficial. Se observó que el método de fase líquida para la preparación de muestras, en el rango entre un minuto y un día, genera una monocapa auto-ensamblada (SAM) de 1-dodecanotiol bien empaquetada sobre la superficie. La SAM molecular es un buen protector de la corrosión porque inhibe la oxidación de la superficie, sin embargo, al cabo de varias semanas también sufre un proceso de oxidación que deteriora su calidad protectora. Además se observó que las características morfológicas de las muestras sí afectan la oxidación superficial. Concluyendo, para obtener mejor protección a la oxidación superficial, las películas delgadas de cobre deben ser de amplios granos con extensas terrazas, para así favorecer el empaquetamiento y buen ordenamiento de la SAM molecular.