Zugl.: Ilmenau, Techn. Universiẗat, Diss.

Universiẗat, Diss., 2003--Dortmund.

Zugl.: Cottbus, Techn. University, Diss., 2001.

The investigations of the clues for the optimum construction and optimum operation management, that is working point dependent regulation of the active power and reactive power, of a twice fed asynchronous generators by his application in wind power station with regard to the maximum efficiency in the fully and partial load range. The representation of an asynchronous generator by field-oriented regulation is suggested by a simplistic equivalent circuit diagram. The method of the calculation of the rated value of the rotor current components for different working conditions is shown, and the space vector modulation of these rated values with the help of a 4 quadrant converter is valued. A Scaling of the general machine design of a twice fed asynchronous generator for wind power station with following analysis with the help of Finite element method of the electromagnetic and thermal fields in the cross section of the asynchronous generator is carried out. The optimum operation management of the wind power station is investigated. / Die Untersuchungen der Anhaltspunkte für die optimale Auslegung und optimale Betriebsführung, das heißt arbeitspunktabhängige Regelung der Wirk- und Blindleistungen, eines doppelt gespeisten Asynchrongenerators bei seinem Einsatz in Windkraftanlage bezüglich des maximalen Wirkungsgrades im Voll- und Teillastbereich. Die Darstellung eines Asynchrongenerators bei Feldorientierter Regelung wird durch ein vereinfachtes Ersatzschaltbild vorgeschlagen. Die Methode zur Berechnung der Sollwerte der Rotorstromkomponenten für verschiedene Betriebszustände wird dargestellt, und die Raumzeigermodulation dieser Sollwerte mit Hilfe eines 4-Quadranten-Stromrichters bewertet. Eine Skalierung des allgemeinen Maschinenentwurfes eines doppelt gespeisten Asynchrongenerators für Windkraftanlage mit anschließender Analyse anhand Finite-Elemente-Methode der elektromagnetischen und thermischen Felder im Querschnitt des Asynchrongenerators wird durchgeführt. Die optimale Betriebsführung der Windkraftanlage wird untersucht.

The investigations of the clues for the optimum construction and optimum operation management, that is working point dependent regulation of the active power and reactive power, of a twice fed asynchronous generators with regard to the maximum efficiency in the fully and partial load range by his application in wind power station. The representation of an asynchronous generator by field-oriented regulation is suggested by a simplistic equivalent circuit diagram. The method of the calculation of the rated value of the rotor current components for different working conditions is shown, and the space vector modulation of these rated values with the help of a 4 quadrant converter is valued. A Scaling of the general machine design of a twice fed asynchronous generator for wind power station with following analysis with the help of Finite element method of the electromagnetic and thermal fields in the cross section of the asynchronous generator is carried out. The optimum operation management of the wind power station is investigated. / Die Untersuchungen der Anhaltspunkte für die optimale Auslegung und optimale Betriebsführung, das heißt arbeitspunktabhängige Regelung der Wirk- und Blindleistungen, eines doppelt gespeisten Asynchrongenerators bezüglich des maximalen Wirkungsgrades im Voll- und Teillastbereich bei seinem Einsatz in Windkraftanlage. Die Darstellung eines Asynchrongenerators bei Feldorientierter Regelung wird durch ein vereinfachtes Ersatzschaltbild vorgeschlagen. Die Methode zur Berechnung der Sollwerte der Rotorstromkomponenten für verschiedene Betriebszustände wird dargestellt, und die Raumzeigermodulation dieser Sollwerte mit Hilfe eines 4-Quadranten-Stromrichters bewertet. Eine Skalierung des allgemeinen Maschinenentwurfes eines doppelt gespeisten Asynchrongenerators für Windkraftanlage mit anschließender Analyse anhand Finite-Elemente-Methode der elektromagnetischen und thermischen Felder im Querschnitt des Asynchrongenerators wird durchgeführt. Die optimale Betriebsführung der Windkraftanlage wird untersucht.

Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Modellerstellung und Technologie eines gravimetrischen Gassensors für organische Gase. Die Besonderheit liegt in dem verwendeten Resonatortyp. Es handelt sich um einen lateral elektrostatisch angeregten quadratischen Plattenresonator, der mit einer Rezeptorschicht versehen wird. Mit Hilfe von FEM-Berechnungen werden die Eigenfrequenzen und Eigenformen berechnet. Für die untersuchte Lamé- und Square-Mode wird die Sensorgüte unter Berücksichtigung des "Squeeze-Film-Damping" sowie der viskoelastischen Rezeptorschichteigenschaften bestimmt. Die Sensormoden werden durch ein Feder-Masse-Modell mit einem Freiheitsgrad modelliert und durch ein elektrisches Ersatzschaltbild repräsentiert. Die berechneten Nachweisgrenzen für Oktan und Toluol bei 6-facher Rauschgrenze liegen im zweistelligen ppb-Bereich. Für die technologische Umsetzung werden SOI-Wafer verwendet. Die ≤ 100 nm betragenden Spaltbreiten zwischen Elektroden und Resonator werden durch das RIE-Ätzen von Siliziumgräben mit senkrechten Seitenwänden, der Abscheidung von SiO2 als Opferschicht und dem Füllen der Gräben mit hochdotiertem Polysilizium hergestellt. Die Kontaktierung der Resonatoren erfolgt über einen leitenden Stamm, der aufgrund von selbstjustierenden Prozessen die Resonatorplatte zentriert einspannt. / The following work is concerned with the modelling and fabrication technology of a gravimetric sensor for volatile organic compounds (VOC). Novelty is the combination of a lateral electrostatic driven square plate resonator with a gas sensitive detection layer. The eigenfrequencies and -modes are calculated with FEM simulations. Especially suited for gas sensors are the Lamé- and Square eigenmodes which are studied more closely. The quality factor is determined considering "squeeze film damping" and the viscoelastic properties of the gas sensitive detection layer. To present the sensor oscillation modes a spring mass model with one degree of freedom is determined and extended by an equivalent circuit diagram. The calculated limits of detections for octane and toluene are in the binary ppb-range, working with six times the limit of frequency noise. SOI-wafers are the base material for the sensor process flow. Electrode gaps ≤100 nm, essential for the electrostatic drive, are fabricated by RIE-etching vertical trenches into the device layer down to the buried oxide and by depositing a silicon dioxide as sacrifical layer and by refilling the trenches with highly doped polysilicon. The electrical contact of the resonator plate is ensured through an electrical conducting polysilicon stem. The developed process flow enables a self alignment ot the stem, clamping the plate centered.

The investigations of the clues for the optimum construction and optimum operation management, that is working point dependent regulation of the active power and reactive power, of a twice fed asynchronous generators by his application in wind power station with regard to the maximum efficiency in the fully and partial load range. The representation of an asynchronous generator by field-oriented regulation is suggested by a simplistic equivalent circuit diagram. The method of the calculation of the rated value of the rotor current components for different working conditions is shown, and the space vector modulation of these rated values with the help of a 4 quadrant converter is valued. A Scaling of the general machine design of a twice fed asynchronous generator for wind power station with following analysis with the help of Finite element method of the electromagnetic and thermal fields in the cross section of the asynchronous generator is carried out. The optimum operation management of the wind power station is investigated. / Die Untersuchungen der Anhaltspunkte für die optimale Auslegung und optimale Betriebsführung, das heißt arbeitspunktabhängige Regelung der Wirk- und Blindleistungen, eines doppelt gespeisten Asynchrongenerators bei seinem Einsatz in Windkraftanlage bezüglich des maximalen Wirkungsgrades im Voll- und Teillastbereich. Die Darstellung eines Asynchrongenerators bei Feldorientierter Regelung wird durch ein vereinfachtes Ersatzschaltbild vorgeschlagen. Die Methode zur Berechnung der Sollwerte der Rotorstromkomponenten für verschiedene Betriebszustände wird dargestellt, und die Raumzeigermodulation dieser Sollwerte mit Hilfe eines 4-Quadranten-Stromrichters bewertet. Eine Skalierung des allgemeinen Maschinenentwurfes eines doppelt gespeisten Asynchrongenerators für Windkraftanlage mit anschließender Analyse anhand Finite-Elemente-Methode der elektromagnetischen und thermischen Felder im Querschnitt des Asynchrongenerators wird durchgeführt. Die optimale Betriebsführung der Windkraftanlage wird untersucht.

The investigations of the clues for the optimum construction and optimum operation management, that is working point dependent regulation of the active power and reactive power, of a twice fed asynchronous generators with regard to the maximum efficiency in the fully and partial load range by his application in wind power station. The representation of an asynchronous generator by field-oriented regulation is suggested by a simplistic equivalent circuit diagram. The method of the calculation of the rated value of the rotor current components for different working conditions is shown, and the space vector modulation of these rated values with the help of a 4 quadrant converter is valued. A Scaling of the general machine design of a twice fed asynchronous generator for wind power station with following analysis with the help of Finite element method of the electromagnetic and thermal fields in the cross section of the asynchronous generator is carried out. The optimum operation management of the wind power station is investigated. / Die Untersuchungen der Anhaltspunkte für die optimale Auslegung und optimale Betriebsführung, das heißt arbeitspunktabhängige Regelung der Wirk- und Blindleistungen, eines doppelt gespeisten Asynchrongenerators bezüglich des maximalen Wirkungsgrades im Voll- und Teillastbereich bei seinem Einsatz in Windkraftanlage. Die Darstellung eines Asynchrongenerators bei Feldorientierter Regelung wird durch ein vereinfachtes Ersatzschaltbild vorgeschlagen. Die Methode zur Berechnung der Sollwerte der Rotorstromkomponenten für verschiedene Betriebszustände wird dargestellt, und die Raumzeigermodulation dieser Sollwerte mit Hilfe eines 4-Quadranten-Stromrichters bewertet. Eine Skalierung des allgemeinen Maschinenentwurfes eines doppelt gespeisten Asynchrongenerators für Windkraftanlage mit anschließender Analyse anhand Finite-Elemente-Methode der elektromagnetischen und thermischen Felder im Querschnitt des Asynchrongenerators wird durchgeführt. Die optimale Betriebsführung der Windkraftanlage wird untersucht.

Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Modellerstellung und Technologie eines gravimetrischen Gassensors für organische Gase. Die Besonderheit liegt in dem verwendeten Resonatortyp. Es handelt sich um einen lateral elektrostatisch angeregten quadratischen Plattenresonator, der mit einer Rezeptorschicht versehen wird. Mit Hilfe von FEM-Berechnungen werden die Eigenfrequenzen und Eigenformen berechnet. Für die untersuchte Lamé- und Square-Mode wird die Sensorgüte unter Berücksichtigung des "Squeeze-Film-Damping" sowie der viskoelastischen Rezeptorschichteigenschaften bestimmt. Die Sensormoden werden durch ein Feder-Masse-Modell mit einem Freiheitsgrad modelliert und durch ein elektrisches Ersatzschaltbild repräsentiert. Die berechneten Nachweisgrenzen für Oktan und Toluol bei 6-facher Rauschgrenze liegen im zweistelligen ppb-Bereich. Für die technologische Umsetzung werden SOI-Wafer verwendet. Die ≤ 100 nm betragenden Spaltbreiten zwischen Elektroden und Resonator werden durch das RIE-Ätzen von Siliziumgräben mit senkrechten Seitenwänden, der Abscheidung von SiO2 als Opferschicht und dem Füllen der Gräben mit hochdotiertem Polysilizium hergestellt. Die Kontaktierung der Resonatoren erfolgt über einen leitenden Stamm, der aufgrund von selbstjustierenden Prozessen die Resonatorplatte zentriert einspannt. / The following work is concerned with the modelling and fabrication technology of a gravimetric sensor for volatile organic compounds (VOC). Novelty is the combination of a lateral electrostatic driven square plate resonator with a gas sensitive detection layer. The eigenfrequencies and -modes are calculated with FEM simulations. Especially suited for gas sensors are the Lamé- and Square eigenmodes which are studied more closely. The quality factor is determined considering "squeeze film damping" and the viscoelastic properties of the gas sensitive detection layer. To present the sensor oscillation modes a spring mass model with one degree of freedom is determined and extended by an equivalent circuit diagram. The calculated limits of detections for octane and toluene are in the binary ppb-range, working with six times the limit of frequency noise. SOI-wafers are the base material for the sensor process flow. Electrode gaps ≤100 nm, essential for the electrostatic drive, are fabricated by RIE-etching vertical trenches into the device layer down to the buried oxide and by depositing a silicon dioxide as sacrifical layer and by refilling the trenches with highly doped polysilicon. The electrical contact of the resonator plate is ensured through an electrical conducting polysilicon stem. The developed process flow enables a self alignment ot the stem, clamping the plate centered.

Infolge der verschiedenen besonderen Effekte von asynchronen Linearmotoren wurde bei Modellierung dieser Motoren die meiste Aufmerksamkeit dem Aufbau von anspruchsvollen Feldmodellen zur Beschreibung ihrer physikalischen Vorgänge geschenkt. Auf die Umwandlung des anspruchsvollen Feldmodells auf ein ingenieurfreundliches Ersatzschaltbild wird aber nicht vertieft eingegangen, insbesondere wenn die unsymmetrischen Wicklungen der Linearmotoren mit berücksichtigt werden. Dies ist ein Grund dafür, dass die asynchronen Linearmotoren nicht weit verbreitet sind, auch wenn sie über ein großes Wachstumspotenzial im Linearantriebsmarkt verfügen. In den ersten Jahren des neuen Jahrhunderts sind Motoren mit konzentrierten Wicklungen dank ihrer hoch automatisierten Wickelverfahren zunehmend auf dem Markt vertreten. Bei der Modellierung der asynchronen Linearmotoren mit diesen Wicklungen muss man deshalb den damit verbundenen relativ hohen Gehalt an harmonischen Feldern berücksichtigen. Aus diesen Gründen wird in der vorliegenden Arbeit eine praktische Methodik zur Modellierung der asynchronen Linearmotoren entwickelt, wobei die Umwandlung des Feldmodells auf ein Ersatzschaltbild eine eingehende Behandlung findet. Die entwickelte Methodik kann nicht nur von den unsymmetrischen Wicklungen der Linearmotoren sondern auch von dem relativ hohen Gehalt an harmonischen Feldern bei Ausführung der Statorwicklung in konzentrierten Wicklungen handeln. In der Methodik wird ein Begriff des Leiterbelages aus dem klassischen Begriff des Strombelages abgeleitet und seine theoretischen Grundlagen entwickelt. Während der Strombelag nur den Stromeinprägungszustand elektrischer Maschinen beschreibt, kann der Leiterbelag die wesentlichen Eigenschaften der Wicklungen elektrischer Maschinen beschreiben. Damit können die Berechnung der Selbst- und Gegeninduktionsimpedanzen der Wicklungen und die Umwandlung des Feldmodells auf das Ersatzschaltbild systematisiert werden, insbesondere wenn es sich um die unsymmetrischen Wicklungen handelt. Bei symmetrischen Wicklungen ist nur ein symmetrisches Ersatzschaltbild zur Strom- und Kraftberechnung der Linearmotoren notwendig. Bei unsymmetrischen Wicklungen muss man aber ein unsymmetrisches Ersatzschaltbild für die Stromberechnung aufbauen, während für die Kraftberechnung jeweils ein symmetrisches Ersatzschaltbild für das Mit- und Gegenstromsystem verwendet werden. Zur messtechnischen Bestätigung von den in dieser Arbeit entwickelten Ersatzschaltbildern werden ein Linearmotor mit verteilten Wicklungen und ein Linearmotor mit konzentrierten Wicklungen eingesetzt. Dabei werden die Statoren in unterschiedlichen Luftspaltlängen ausgeführt und die Läufer mit unterschiedlichen Materialien und Dicken verwendet. Insbesondere werden die Linearmotoren mit konzentrierten Wicklungen in unterschiedlichen Polpaarzahlen ausgeführt und mit Spannungssystemen von verschiedenen Frequenzen versorgt.