A near-net-shape process for the production of mullite matrix ceramic composites below 1300 °C has been achieved by reaction bonding AI2O3, silicon, mullite seeds and a eutectic of A12O3-SiO2-mixed rare earth oxide. The roles of the transient liquid phase from the eutectic and the mullite seeds are examined. The approximate eutectic composition was estimated from the A12O3-SiO2-Y2O3 phase diagram as 22 wt % AI2O3/46 wt% S102/3 2 wt% Y2O3. The fusion temperature of the mixed-rare-earth-based eutectic composition was lower (1175 °C vs. those of pure, rare earth oxides based eutectic composition; Pr6On/A12O3/SiO2: 1224 °C, EU2O3/AI2O3/S1O2: 1259 °C and Y2O3/Al2O3/SiO2: 1345 °C). The densification characteristics of the reaction-bonded mullite (RBM) mixture were investigated. Density increased with eutectic, and decreased with mullite seed contents. Oxidation and volume expansions due to Si and mullite formation are examined by thermogravimetric analysis (TGA) and dilatometric measurement. TThe measured weight gain and maximum volume expansion were lower than theoretical values due to preoxidation of the Si powder. Dilatometric curves indicated sintering shrinkage is compensated by the oxidation-induced volume-expansion. AI2O3 + SiO2 mixtures of the mullite composition exhibited shrinkage exclusively. X-ray diffraction of the RBM sinters display major mullite peaks and minor residual a-A12O3. Mullite develops with low residual AI2O3 when 7.5 wt% mixed-rare-earth-oxide eutectic and 5 wt% mullite seeds are incorporated into the mix. The final sinter is > 90 % theoretical density, > 90 % mullite, and suffers 2.2 % sintering shrinkage. Transmission-electron-microscopy (TEM) and Energy dispersive X-ray spectra (EDX) were employed to follow mullite evolution. Model samples were utilised to study diffusion-, and reaction-, rates. The highest reaction rates at the lowest temperature occur when the eutectic penetrates an AI2O3/S1 layer. Bimodal pellets with and without eutectic (or with and without mullite seeds) directly illustrate their roles. Mullite seeds promote mullite formation, but the transient liquid accelerates Si oxidation, mullite formation and densification. / Thesis / Master of Engineering (ME)

Lithium-ion batteries are being intensely pursued as energy storage devices because they provide higher energy and power densities compared to other battery systems such as lead-acid and nickel-metal hydride batteries. This dissertation (i) explores the use of a low-temperature microwave-assisted synthesis process to obtain aliovalently-doped lithium transition-metal phosphates and lower-valent vanadium oxide spinels, some of which are difficult to obtain by conventional high-temperature processes, and (ii) presents an investigation of the electrochemical properties of the aliovantly-doped phosphate cathodes and doped lithium manganese oxide and oxyfluoride spinel cathodes in lithium-ion batteries. Following the introduction and general experimental procedures, respectively, in Chapters 1 and 2, Chapter 3 first focuses on understanding of how the inductive effect and structural features in lithium transition-metal borate, silicate, and phosphate cathodes affect the M²⁺ʹ³⁺redox energies. It is found that the magnitude of the voltages delivered by the polyanion cathodes can be predicted based simply on the coordination of the transition-metal ion. Furthermore, the differences in the voltages delivered by the phosphates and pyrophosphates are explained by considering the resonance structures and their contribution to the covalency of the polyanion. Chapter 4 presents a low-temperature microwave-assisted solvothermal process to substitute 20 atom % V³⁺ for Mn²⁺ in LiMnPO₄. It is shown that the solubility of vanadium in LiMnPO₄ decreases upon heating the doped samples to ≥ 575 °C, demonstrating the importance of employing a low-temperature process to achieve aliovalent doping in LiMnPO₄. It is further demonstrated that by increasing the vanadium content in the material, the discharge capacity in the first cycle could be increased without any additional carbon coating. Subsequent X-ray absorption spectroscopy data reveal that the better performance is facilitated by enhanced Mn-O hybridization upon incorporating vanadium into the lattice. Chapter 5 explores the influence of various factors, such as the oxidation state of Mn, electronegativity of the dopant cation Mn+, and the dissociation energy of M-O bond, on the electrochemical properties of cation-doped oxide and oxyfluoride spinel cathodes. As an extension, Chapter 6 presents the effect of processing conditions on the surface concentration of the dopant cation Mn+. Chapter 7 presents an extension of the low-temperature microwave-assisted synthesis process to obtain AV₂O₄ (Mg, Fe, Mn, and Co) spinel oxides. The method is remarkably effective in reducing the synthesis time and energy use due to the efficiency of dielectric heating compared to conventional heating. The ability to access V³⁺ is facilitated by the relative positions of the energy levels of the cations in solution, which is lower than that in the solid, and the use of a strong reducing solvent like TEG. Finally, Chapter 8 provides a summary of the salient findings in this dissertation. / text

LOW TEMPERATURE SYNTHESIS AND CHARACTERIZATION OF SOME LOW POSITIVE AND NEGATIVE THERMAL EXPANSION MATERIALS Kathleen Madara White 151 pages Directed by Dr. Angus P. Wilkinson Low temperature non-hydrolytic sol-gel synthesis was used to explore the possibility of lowering the crystallization temperatures of some known AIVMV2O7 compounds. Crystallization temperatures for ZrP2O7 and ZrP2O7 were unaffected by the use of non-hydrolytic sol-gel methods; however, successful synthesis of these compounds broadens the range of materials that can be produced using this method and suggests the possibility of synthesizing solid solutions (or composites) including ZrP2O7 or ZrV2O7. This research presents for the first time the direct synthesis of ZrP2O7 from separate zirconium and phosphorus starting materials using mild autoclave methods. Characterization of some AIVMV2O7 compounds, using lab and high resolution synchrotron powder XRD, led to the assignment of a new symmetry for CeP2O7 and to the suggestion that the reported structure for PbP2O7 was inadequate. Studies using in situ high temperature lab and synchrotron powder XRD for PbP2O7 and CeP2O7 provided the opportunity to report their thermal properties for the first time, and to compare their behavior to that of some other AIVMV2O7. High pressure diffraction measurements on CeP2O7 provided data for the estimation of bulk moduli and suggested two possible pressure-induced phase transitions. A broad range of MIIIMVP4O14 compounds were prepared using low temperature hydrolytic sol-gel synthesis. Thermal studies revealed nearly linear trends in CTEs and lattice constants with respect to the sizes of MIIIMV cations. Some lower ionic radii compounds had CTEs comparable to that of ZrP2O7 at low temperature, suggesting a similar superstructure. Three compounds were found to exhibit temperature-induced phase transitions.

Abstract Carbon nanotubes (CNTs) are known for their excellent mechanical, electrical and thermal properties, that have fostered a vast number of applications during the last two decades, from composites, electrodes and nanoelectonics components, to sensors and biological scaffolds. Direct integration of CNTs into devices is not straightforward, as high growth temperatures (above 600 °C) challenge the chemical and thermal stability of substrates, catalysts and other nearby materials or components. However, by decreasing growth temperature and/or working out protocols that take into account the thermal stability of the materials involved, it is possible to create several new types of architectures and devices with functionalities not shown before. In this work, we show that, with selection of the appropriate substrate, diffusion barrier and catalyst materials, direct growth of functional CNT films and their micropatterns may be achieved, not only on Si chips, but also on other atypical surfaces, using chemical vapor deposition. This thesis explores low-temperature CNT synthesis over bi- and trimetallic catalysts, and investigates the effect of diffusion barrier layers on the electrical properties of substrate-to-CNT contacts. On one hand, the lowest achieved CNT synthesis temperature (400 °C) is compatible with most silicon technologies, thus enabling direct integration of CNTs with materials and devices with low thermal budgets. On the other hand, the results of diffusion barrier studies helped us in designing and demonstrating on-chip micropatterned CNT structures for super and pseudocapacitor electrodes. In addition, we also show a method for maskless growth of CNT micropatterns using laser-treated steel and superalloy surfaces, whose surface diffusion properties change as a result of barrier-type metal oxide formation. Furthermore, we present CNT growth on carbon materials and demonstrate entirely carbon-based hierarchical composites for electromagnetic interference shielding applications, exhibiting outstanding absorption-based shielding performance. The results presented in this thesis are expected to contribute to a further expansion of CNT-based technologies, in particular with potential for future advances in high-frequency devices (arrays, amplifiers and shielding materials), energy materials (electrodes and scaffolds), as well as in nanoelectromechanical systems (sensors and actuators). / Tiivistelmä Hiilinanoputket tunnetaan niiden erinomaisista mekaanisista, sähköisistä ja termisistä ominaisuuksista, joita on hyödynnetty lukuisissa sovelluksissa viimeisen kahden vuosikymmenen aikana alkaen komposiiteista, elektrodeista, nanoelektroniikkakomponenteista ja sensoreista aina biologisiin tukirakenteisiin. Nanoputkien synteesi suoraan laitteessa ei ole suoraviivaista, sillä korkeat, yli 600 °C synteesilämpötilat asettavat haasteita substraatin, katalyytin sekä muiden lähellä olevien materiaalien ja komponenttien kemialliselle ja termiselle vakaudelle. Alentamalla synteesilämpötilaa ja/tai kehittämällä termisen vakauden huomioivia menetelmiä on mahdollista luoda uudenlaisia arkkitehtuureja ja sovelluksia ennennäkemättömillä ominaisuuksilla. Tässä työssä osoitetaan, että sopivan substraatin, diffuusiosuojan ja katalyyttimateriaalin valitsemalla funktionaalisten hiilinanoputkien synteesi on mahdollista piin lisäksi myös muille, epätavallisille pinnoille käyttäen kemiallista kaasufaasipinnoitusta. Väitöstyössä käsitellään hiilinanoputkien matalan lämpötilan synteesiä hyödyntäen kaksi- ja kolmimetallisia katalyyttejä sekä tutkitaan diffuusiosuojakerroksen sähköistä vaikutusta substraatin ja hiilinanoputkien väliseen kontaktiin. Alin saavutettu synteesilämpötila (400 °C) on yhteensopiva useimpien piiteknologioiden kanssa, mikä mahdollistaa nanoputkien suoran integroinnin matalaa lämpötilaa edellyttäville materiaaleille. Työssä tutkitun diffuusiosuojakerroksen kehitys mahdollisti myös piisirun päälle toteutettujen hiilinanoputkipohjaisten super- ja pseudokondensaattorielektrodien demonstroinnin. Lisäksi työssä esitetään menetelmä, jossa laserkäsittelemällä teräs- ja supermetalliseospinta, jonka avulla mikrokuvioitu hiilinanoputkien kasvu ilman litografiaprosessia on mahdollista. Viimeisenä työssä esitetään hiilinanoputkien synteesi suoraan toiselle hiilimateriaalille ja demonstroidaan täysin hiilipohjainen, hierarkkinen komposiittimateriaali erinomaisella absorptioon perustuvalla suojauskyvyllä sähkömagneettisiin häiriösuojaussovelluksiin. Väitöstyössä esitettyjen tulosten odotetaan osaltaan edistävän hiilinanoputkipohjaisten teknologioiden kehitystä erityisesti korkean taajuuden laitteissa, energiamateriaaleissa sekä nanosähkömekaanisissa järjestelmissä.

Schon seit dem 17. Jahrhundert ist bekannt, dass kolloidales Gold in wässrigen Lösungen eine rötliche Färbung hervorruft; ein Effekt der direkt aus der Nanostrukturierung des Goldes resultiert. Neben der Modifizierung optischer Eigenschaften können durch Nano- oder Mikrostrukturierung auch andere, neuartige Charakteristika hervorgerufen werden, wie bspw. an Bi3Ni nachgewiesen werden konnte: Mittels mikrowelleninduzierter, reduktiver Umsetzung in Ethylenglykol (mikrowellenunterstützter Polyol-Prozess) konnten submikroskalige Bi3Ni-Stäbchen kristallisiert werden, die in Magnetisierungsmessungen die überaus seltene Koexistenz von Supraleitung und Ferromagnetismus zeigten. Ein Quanteneffekt, der im entsprechenden Volumenmaterial nicht nachgewiesen werden kann und auf spezielle Oberflächenzustände zurückzuführen ist. Durch Nanostrukturierung können außerdem die chemischen Eigenschaften entscheidend beeinflusst werden, wie an BiRh gezeigt werden konnte. Der mikrowellenunterstützte Polyol-Prozess begünstigt hierbei die Kristallisation von pseudohexagonalen Plättchen mit 60 nm Durchmesser und 20 nm Dicke. Im Gegensatz zum Volumenmaterial zeigten diese in der industrierelevanten Semihydrierung von Acetylen zu Ethylen Bestwerte sowohl in Bezug auf den Umsatz als auch die Selektivität. Basierend auf diesen Erkenntnissen sollten mithilfe des mikrowellenunterstützten Polyol-Prozesses im Rahmen der vorliegenden Dissertation nanostrukturierte, intermetallische Verbindungen des Typs M–M‘ (M = Sn, Pb, Sb, Bi; M‘ = Fe, Co, Ni, Cu, Pd, Ir, Pt) hergestellt und eingehend chemisch sowie physikalisch charakterisiert werden. Als Edukte dienten Metallsalze, die stets in Ethylenglykol als primäres Lösungs- und Reduktionsmittel umgesetzt wurden. Das Polyol nimmt zusätzlich als oberflächenaktive Substanz Einfluss auf Partikelgröße und -gestalt. Zur Optimierung der Synthesen und um möglichst viele Phasen zugänglich zu machen, wurden Art und Konzentration der Metallsalze, pH-Wert, Reaktionstemperatur und -zeit variiert sowie die Zugabe von Oleylamin und/oder Ölsäure getestet. Oleylamin und Ölsäure sind ihrerseits oberflächenaktive Substanzen, wobei erstere zugleich reduktiv wirken kann. Die methodeninhärente Nanostrukturierung der Produkte führte teilweise zu bemerkenswerten Effekten in der Phasenbildung sowie Beeinflussung der chemischen Eigenschaften. Nahezu das komplette binäre Phasensystem Bi–Pd konnte durch Optimierung der Syntheseparameter zugänglich gemacht werden. Die Besonderheit hierbei: Neben den Raumtemperaturphasen Bi2Pd, Bi2Pd5 und BiPd3 konnte Bi12Pd31 als Hochtemperaturmodifikation sowie die neue und zugleich metastabile Modifikation gamma-Bi1.0Pd erzeugt und stabilisiert werden. Das im NiAs-Strukturtyp kristallisierende gamma-Bi1.0Pd zeigte in Magnetisierungs- und Widerstandsmessungen Supraleitung unterhalb von 3.2 K. Mittels mikrowellenunterstütztem Polyol-Prozess gelang bereits in eigenen Vorarbeiten die Synthese von nanostrukturiertem Bi3Ir. Die Verbindung ist ausschließlich in nanopartikulärer Form bei Raumtemperatur empfindlich gegenüber molekularem Sauerstoff und bildet im Zuge einer unkonventionellen oxidativen Interkalation das intermetallische Suboxid Bi3IrOx. Dieses Verhalten ist verknüpft mit einer amorphen Hülle um die Bi3Ir-Nanopartikel, da diese zur Aktivierung des molekularen Sauerstoffs benötigt wird. Unter Einsatz von Reduktionsmitteln — z.B. Wasserstoff, Superhydrid®, Hydrazin — ist der Oxidationsprozess für x < 2 vollständig reversibel. Im Rahmen der vorliegenden Arbeit konnten die Erkenntnisse über Bi3Ir und Bi3IrOx vertieft werden: Bi3IrOx konnte als erster Sauerstoffionenleiter bei Raumtemperatur klassifiziert werden, der darüber hinaus metallisch ist. Dies gelang mittels Röntgen- und Elektronenbeugung, hochauflösender Transmissionselektronenmikroskopie, Röntgenphotoelektronenspektroskopie, quantenchemischen Rechnungen, und Experimenten zur Reaktionskinetik. Mit 84 meV ist die Aktivierungsenergie für die Ionenleitung um eine Größenordnung kleiner als in allen konventionellen Sauerstoffionenleitern. Der Diffusionskoeffizient beträgt für 25 °C 1.2·10–22 m2s–1, was in Anbetracht der 10–19 m2s–1 des Yttrium-stabilisierten Zirkoniumoxids (häufig genutztes Referenzmaterial) bei 150 °C wenig erscheint, aber eben schon für Raumtemperatur gilt. Durch den mikrowellenunterstützten Polyol-Prozess konnten erstmals phasenreine, nanostrukturierte Proben von PbPd3, Pd20Sb7, Pd8Sb3, PdSb, Ni5Sb2, und Pd13Sn9 synthetisiert werden sowie alternative Syntheserouten für weitere Phasen (alpha-/beta-/gamma-Bi2Pt, BiPt, NiSb, beta-Ni3Sn2, Pd2Sn, PdSn, Pt3Sn, PtSn, PtPb) ermittelt werden, wobei mehrfach die Bildung von Hochtemperaturphasen beobachtet wurde. Weiterhin konnten einige Grenzen der Methode aufgezeigt werden: Während blei- und bismutreiche Phasen prinzipiell einfach kristallisiert werden können, sind antimon- und zinnreiche Verbindungen mit der Methode kaum erreichbar. Außerdem zeigte sich, dass in den meisten Phasensystemen nur bestimmte Verbindungen angesteuert werden können; die Bildung der intermetallischen Phasen ist häufig die Triebkraft zur Reduktion der Metallkationen. In den Systemen von Co-Sb, Co-Sn und Ir-Sb konnte bisher keine Feststoffbildung beobachtet werden.

Schon seit dem 17. Jahrhundert ist bekannt, dass kolloidales Gold in wässrigen Lösungen eine rötliche Färbung hervorruft; ein Effekt der direkt aus der Nanostrukturierung des Goldes resultiert. Neben der Modifizierung optischer Eigenschaften können durch Nano- oder Mikrostrukturierung auch andere, neuartige Charakteristika hervorgerufen werden, wie bspw. an Bi3Ni nachgewiesen werden konnte: Mittels mikrowelleninduzierter, reduktiver Umsetzung in Ethylenglykol (mikrowellenunterstützter Polyol-Prozess) konnten submikroskalige Bi3Ni-Stäbchen kristallisiert werden, die in Magnetisierungsmessungen die überaus seltene Koexistenz von Supraleitung und Ferromagnetismus zeigten. Ein Quanteneffekt, der im entsprechenden Volumenmaterial nicht nachgewiesen werden kann und auf spezielle Oberflächenzustände zurückzuführen ist. Durch Nanostrukturierung können außerdem die chemischen Eigenschaften entscheidend beeinflusst werden, wie an BiRh gezeigt werden konnte. Der mikrowellenunterstützte Polyol-Prozess begünstigt hierbei die Kristallisation von pseudohexagonalen Plättchen mit 60 nm Durchmesser und 20 nm Dicke. Im Gegensatz zum Volumenmaterial zeigten diese in der industrierelevanten Semihydrierung von Acetylen zu Ethylen Bestwerte sowohl in Bezug auf den Umsatz als auch die Selektivität. Basierend auf diesen Erkenntnissen sollten mithilfe des mikrowellenunterstützten Polyol-Prozesses im Rahmen der vorliegenden Dissertation nanostrukturierte, intermetallische Verbindungen des Typs M–M‘ (M = Sn, Pb, Sb, Bi; M‘ = Fe, Co, Ni, Cu, Pd, Ir, Pt) hergestellt und eingehend chemisch sowie physikalisch charakterisiert werden. Als Edukte dienten Metallsalze, die stets in Ethylenglykol als primäres Lösungs- und Reduktionsmittel umgesetzt wurden. Das Polyol nimmt zusätzlich als oberflächenaktive Substanz Einfluss auf Partikelgröße und -gestalt. Zur Optimierung der Synthesen und um möglichst viele Phasen zugänglich zu machen, wurden Art und Konzentration der Metallsalze, pH-Wert, Reaktionstemperatur und -zeit variiert sowie die Zugabe von Oleylamin und/oder Ölsäure getestet. Oleylamin und Ölsäure sind ihrerseits oberflächenaktive Substanzen, wobei erstere zugleich reduktiv wirken kann. Die methodeninhärente Nanostrukturierung der Produkte führte teilweise zu bemerkenswerten Effekten in der Phasenbildung sowie Beeinflussung der chemischen Eigenschaften. Nahezu das komplette binäre Phasensystem Bi–Pd konnte durch Optimierung der Syntheseparameter zugänglich gemacht werden. Die Besonderheit hierbei: Neben den Raumtemperaturphasen Bi2Pd, Bi2Pd5 und BiPd3 konnte Bi12Pd31 als Hochtemperaturmodifikation sowie die neue und zugleich metastabile Modifikation gamma-Bi1.0Pd erzeugt und stabilisiert werden. Das im NiAs-Strukturtyp kristallisierende gamma-Bi1.0Pd zeigte in Magnetisierungs- und Widerstandsmessungen Supraleitung unterhalb von 3.2 K. Mittels mikrowellenunterstütztem Polyol-Prozess gelang bereits in eigenen Vorarbeiten die Synthese von nanostrukturiertem Bi3Ir. Die Verbindung ist ausschließlich in nanopartikulärer Form bei Raumtemperatur empfindlich gegenüber molekularem Sauerstoff und bildet im Zuge einer unkonventionellen oxidativen Interkalation das intermetallische Suboxid Bi3IrOx. Dieses Verhalten ist verknüpft mit einer amorphen Hülle um die Bi3Ir-Nanopartikel, da diese zur Aktivierung des molekularen Sauerstoffs benötigt wird. Unter Einsatz von Reduktionsmitteln — z.B. Wasserstoff, Superhydrid®, Hydrazin — ist der Oxidationsprozess für x < 2 vollständig reversibel. Im Rahmen der vorliegenden Arbeit konnten die Erkenntnisse über Bi3Ir und Bi3IrOx vertieft werden: Bi3IrOx konnte als erster Sauerstoffionenleiter bei Raumtemperatur klassifiziert werden, der darüber hinaus metallisch ist. Dies gelang mittels Röntgen- und Elektronenbeugung, hochauflösender Transmissionselektronenmikroskopie, Röntgenphotoelektronenspektroskopie, quantenchemischen Rechnungen, und Experimenten zur Reaktionskinetik. Mit 84 meV ist die Aktivierungsenergie für die Ionenleitung um eine Größenordnung kleiner als in allen konventionellen Sauerstoffionenleitern. Der Diffusionskoeffizient beträgt für 25 °C 1.2·10–22 m2s–1, was in Anbetracht der 10–19 m2s–1 des Yttrium-stabilisierten Zirkoniumoxids (häufig genutztes Referenzmaterial) bei 150 °C wenig erscheint, aber eben schon für Raumtemperatur gilt. Durch den mikrowellenunterstützten Polyol-Prozess konnten erstmals phasenreine, nanostrukturierte Proben von PbPd3, Pd20Sb7, Pd8Sb3, PdSb, Ni5Sb2, und Pd13Sn9 synthetisiert werden sowie alternative Syntheserouten für weitere Phasen (alpha-/beta-/gamma-Bi2Pt, BiPt, NiSb, beta-Ni3Sn2, Pd2Sn, PdSn, Pt3Sn, PtSn, PtPb) ermittelt werden, wobei mehrfach die Bildung von Hochtemperaturphasen beobachtet wurde. Weiterhin konnten einige Grenzen der Methode aufgezeigt werden: Während blei- und bismutreiche Phasen prinzipiell einfach kristallisiert werden können, sind antimon- und zinnreiche Verbindungen mit der Methode kaum erreichbar. Außerdem zeigte sich, dass in den meisten Phasensystemen nur bestimmte Verbindungen angesteuert werden können; die Bildung der intermetallischen Phasen ist häufig die Triebkraft zur Reduktion der Metallkationen. In den Systemen von Co-Sb, Co-Sn und Ir-Sb konnte bisher keine Feststoffbildung beobachtet werden.

Abstract The main objectives of this thesis are to synthesize macroscopic well-aligned multi-walled carbon nanotube films and, based on their electrical conductivity, porosity and structural uniformity, highlight potential applications for further development. In this thesis, catalytic chemical vapour deposition from ferrocene-xylene precursors is optimized to grow high quality films of long, aligned multi-walled carbon nanotubes on lithographically patterned templates in high (~800ºC) temperatures. The impacts of reaction time, temperature and precursor concentration on MWCNT film quality (film thickness, purity, density and nanotube diameter distribution) are studied. Because of the excellent control of growth selectivity and film thickness inherent to the method, several interesting applications, including solar cell and capacitor electrodes, contact brushes, coolers, particulate filters and catalyst membranes, have been developed for nanotube films in collaboration between Finnish and international research groups over the past few years. In this thesis, advanced capacitor electrodes with improved charge storage and efficient particulate filters are discussed in closer detail. As the high temperatures used for growing high quality carbon nanotubes often cause complications in cases where nanotubes need to be directly integrated with other materials, experiments were also conducted with the aim of making the growth temperature as low as possible. After testing several catalyst and precursor combinations, cobalt nanoparticles deposited on silica surfaces were found to form carbon nanotubes from vaporized cyclopentene oxide precursor already at 470°C. The results show that catalytic chemical vapour deposition is a feasible and versatile method that can be combined with photolithography to produce multi-walled carbon nanotube films with desired footprint area and thickness on various substrates. The demonstrated new applications and technical solutions are expected to contribute to further development leading to competitive practical devices based on carbon nanotubes. / Tiivistelmä Tämän väitöstyön päätavoitteina ovat makroskooppisten, yhdensuuntaisista moniseinämäisistä hiilinanoputkista koostuvien kalvojen valmistaminen ja sovellutusten esittäminen perustuen kalvojen sähkönjohtavuuteen, huokoisuuten ja rakenteelliseen yhdenmukaisuuteen. Katalyyttis-kemiallinen höyryfaasikasvatusmenetelmä on optimoitu korkealaatuisten, yhdensuuntaisista, pitkistä moniseinämäisistä hiilinanoputkista koostuvien kalvojen tuottamiseen korkeissa lämpötiloissa (~800ºC) fotolitografialla kuvioiduille kasvualustoille käyttäen ferroseeni/ksyleeni-lähtöainetta. Reaktioajan, lämpötilan ja lähtöainepitoisuuden vaikutusta nanoputkikalvon laatuun on tutkittu tarkastelemalla kalvon paksuutta, puhtautta, tiheyttä ja nanoputkien läpimittajakaumaa. Erinomaisen kasvuselektiivisyyden ja kalvon paksuuden kontrolloimisen ansiosta nanoputkikalvoja voidaan räätälöidä useisiin mielenkiintoisiin sovellutuksiin (esim. aurinkokennot ja kondensaattorin elektrodit, hiiliharjat, jäähdyttimet, partikkelisuodattimet ja katalyyttikalvot), joita olemme kehittäneet viime vuosina yhdessä suomalaisten ja kansainvälisten tutkimusryhmien kanssa. Tässä väitöstyössä on tarkasteltu lähemmin uudentyyppisiä kondensaattorielektrodeja, joilla on parantunut sähkövarauksen varastointikyky, sekä tehokkaita partikkelisuodattimia. Hiilinanoputkien kasvattaminen korkeissa lämpötiloissa aiheuttaa usein ongelmia integroitaessa nanoputkia toisiin materiaaleihin. Tästä johtuen tutkimuksessa pyrittiin saamaan nanoputkien kasvatuslämpötila mahdollisimman alhaiseksi testaamalla useita lähtöaine-katalyytti-kombinaatioita, joista koboltti-nanopartikkelit piidioksidin päällä ja syklopenteenioksidi lähtöaineena muodostivat hiilinanoputkia jo 470°C:ssa. Tulosten perusteella katalyyttis-kemiallinen höyryfaasikasvatusmenetelmä yhdistettynä fotolitografiaan on hyvin monipuolinen tapa tuottaa moniseinämäisiä hiilinanoputkia halutulla kuviolla ja kalvonpaksuudella erilaisille substraateille. Tässä väitöstyössä demonstroitujen uusien sovellutusten ja teknisten ratkaisujen odotetaan johtavan uusiin, hiilinanoputkiin perustuviin kilpailukykyisiin käytännön laitteisiin.